中村　圭二　NAKAMURA Keiji

プロフィール

職名	教授
所属	工学部 電気システム工学科 大学院 工学研究科 電気電子工学専攻
最終学歴	名古屋大学大学院工学研究科
学位	工学博士（名古屋大学）
所属学会・役職	電気学会 応用物理学会 プラズマ・核融合学会 IEEE
専門分野	プラズマ工学、計測工学
研究テーマ	高密度プラズマの生成・計測・制御、プラズマを用いた材料プロセス、環境保全に向けたプラズマ応用
授業科目	放電現象特論A （大学院） 、電気磁気学 I 、電気機器 II A、電気機器 II B、ソフトウェア工学A・B、電気工学演習、電気応用工学実験A、ゼミナールA

学術論文、評論

Alternating Ion Bombardment Technique for Wall Surface Control in Depositive Plasma Processing, J. Vac. Sci. Tech. A Vol.18, No.1, 2000

Plasma Absorption Probe for Measuring Electron Density in an Environment Soiled with Processing, Jpn. J. Appl. Phys. Vol.38, No.9A （pt.1）, 1999

Diagnostic of Surface Wave Plasma for Oxide Etching in Comparison with Inductive RF Plasma, Jpn. J. Appl. Phys. Vol.38, No.9A （pt.1）, 1999

Incident Ion Monitoring during Plasma Immersion Ion Implantation by Direct Measurements of High Energy Secondary Electrons, Surf. and Coat. Tech. Vol.93, 1997

講演、シンポジウム、学会発表

Wall Control in Oxide Etcher by Alternating Ion Bombardment, Int. Workshop Basic Aspects of Non-equilibrium Plasmas Interacting with Surfaces (BANPIS-2000), (January 2000, Japan) P1-12

High-Energy Secondary Electron Measurement and Its Application to In-situ Ion Flux Monitoring in Plasma Immersion Ion Implantation, XVth Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, (August 2000, Hungary) 4-27

Suppression of Current Imbalance between Superconductor Strands by Magnetic Core Method, Applied Superconductivity Conference 2000, (September 2000, U. S. A.) 5LB10

社会活動

電気学会プラズマイオン注入調査専門委員会委員, 1999〜現在

プラズマ・核融合学会編集委員, 1999〜現在

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会幹事, 1997〜1998