中部大学研究紹介2024
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27独自HPキーワード相談に応じられる内容本研究室が持つプラズマプロセス装置の1つ(容量性結合プラズマ)プラズマ処理済のカーボンナノチューブを複合したポリウレタン膜(左)と 複合することで達成できる耐摩耗性の改善(右)低温プラズマを使った表面加工の研究 OGAWA Daisuke工学部 電気電子システム工学科教授 小川 大輔低温プラズマを使った材料(例えば 半導体、複合材料など)の加工に関する開発や解析、プラズマ計測(電子密度、電子温度、発光分析など)低温プラズマ、表面処理、複合材料、半導体 低温プラズマとは、化学反応を活性化させた気体をいい、その反応に使用するガス(気体)に高い反応性を持たせた状態で、反応時の温度を 200 ‒ 400 ℃ 程度に抑えることができる。通常、ガスに反応性を持たせる場合にはそのガスを高温にする必要があるが、低温プラズマを使うことにより、反応に寄与しない電子だけを高温化(数万℃程度)させ、ガスに反応性を持たせることができる。結果、電気炉などの非常に高い温度を使わなければならないような反応も、低温プラズマを使うことで類似した反応を起こすことができ、しかも熱に弱い材料も取り扱うことができる。また、プラズマ中には化学反応性を持ちながら、電気・磁気を使ってその動きをコントロールできるイオン粒子が多数存在するため、熱運動による化学反応では得られない加工も実現できる。(例えば、異方性エッチングなど)【研究テーマ】●低温プラズマを使った材料表面の改質とその応用●半導体加工での使用できるプローブ開発●低温プラズマ加工時によるダメージの解析●新しい低温プラズマの開発と研究(例:ミストプラズマなど)社会実装分野活性ガスを使った基礎解析から応用技術開発までキーワード相談に応じられる内容リンガラス系透明導電膜に関する研究GOTO Hideo  工学部 電気電子システム工学科教授 後藤 英雄電気材料開発、半導体素子の応用 リンガラス系材料は多様な性質をもつ。スズを添加したリンガラスは、透明であると同時に電気伝導性を示すことが期待され、ITO(酸化インジウムスズ)やIGZO(InGaZnO)材料系とは異なり、希少金属を使わない透明導電膜の実現が期待される。 また、水分に対する感度が高いので、高感度な湿度センサーとしての用途も期待される。【研究テーマ】●リンガラス系透明導電膜の電気伝導特性 スズ添加リン酸塩ガラスは、耐湿性に優れており、この材料系を基にして 特性を向上させている。リン酸に一酸化スズを混合した溶液をベースに して、珪素とアルカリ金属を添加して、ガラス基板に塗布焼成して膜を 作製する。焼成温度・原料の混合比により膜特性は大きく変化する。●リンガラス系透明導電膜の湿度依存性 スズ添加リン酸塩ガラスの電気伝導は湿度への感度が高い。この性質を 利用すれば、低コストな湿度センサーへの応用が期待される。●電気電子材料の合成法に関する研究透明導電膜、電気材料、センサ材料、半導体材料SEM特許P95参照工学部工学部

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